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対象モジュール | wiki |
件名 | 三元同時反応性スパッタリング法 [ 概要 ] |
要旨 | ページ内コンテンツ 概要 概要 スパッタリング法とはチャンバー中に設置した基板とターゲット(成膜したい物質)との間に高い電圧をかけ、チャンバー中のガスをイ... |
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件名 | 三元同時反応性スパッタリング法 [ 概要 ] |
要旨 | ページ内コンテンツ 概要 概要 スパッタリング法とはチャンバー中に設置した基板とターゲット(成膜したい物質)との間に高い電圧をかけ、チャンバー中のガスをイ... |