コンダクタンスエレメント

標準コンダクタンスエレメントステンレス　概要

製多孔質焼結体からなる定量ガス導入素子。

焼結体の孔径を1 µm以下とすることで、104 Pa（絶対圧力）という比較的高い圧力で、分子流と言う特性の良く分かった流れを発生することができる。

標準コンダクタンスエレメントを介して気体を導入することで、水蒸気を含む様々なガスを使って、真空容器内に気体を定量導入できる。