分圧真空計 :: MixWiki

概要 ^[1]

真空中の気体種ごとの圧力（分圧）を測定するための真空計。

代表的な分圧真空計として、四極子形質量分析計がある。

気体分子の重さ（より正確には、質量電荷比m/z）ごとに、気体分子を分離して測定する。

水分子の分子量は18なので、分圧真空計の出力信号の中のm/z 18の信号だけを選択的に測定することにより、水分子だけを計測できる。真空中で行われる半導体や薄膜等の製造プロセスにおいて、残留ガスや漏れ（リーク）を測定するために用いられている。