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真空中の気体種ごとの圧力(分圧)を測定するための真空計。
代表的な分圧真空計[2]として、四極子形質量分析計がある。
気体分子の重さ(より正確には、質量電荷比m/z)ごとに、気体分子を分離して測定する。 水分子の分子量は18なので、分圧真空計[2]の出力信号の中のm/z 18の信号だけを選択的に測定することにより、水分子だけを計測できる。
真空中で行われる半導体や薄膜等の製造プロセスにおいて、残留ガスや漏れ(リーク)を測定するために用いられている。
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