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リンク元現: 2016-03-06 (日) 15:36:18 kondo  |
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| + | *概要 [#lc7a72a8] | ||
| + | 真空中の気体種ごとの圧力（分圧）を測定するための真空計。 | ||
| + | 代表的な分圧真空計として、四極子形質量分析計がある。 | ||
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| + | 気体分子の重さ（より正確には、質量電荷比m/z）ごとに、気体分子を分離して測定する。 | ||
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| + | 水分子の分子量は18なので、分圧真空計の出力信号の中のm/z 18の信号だけを選択的に測定することにより、水分子だけを計測できる。真空中で行われる半導体や薄膜等の製造プロセスにおいて、残留ガスや漏れ（リーク）を測定するために用いられている。 | ||
- 分圧真空計 のバックアップ差分(No. All)
- 現: 2016-03-06 (日) 15:36:18 kondo
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| ぺージ名 : | 分圧真空計 |
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