wiki バックアップ : [圧力真空標準の変更点]

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 真空中の気体種ごとの圧力（分圧）を測定するための真空計。
-代表的な分圧真空計として、四極子形質量分析計がある。気体分子の重さ（より正確には、質量電荷比m/z）ごとに、気体分子を分離して測定する。水分子の分子量は18なので、分圧真空計の出力信号の中のm/z 18の信号だけを選択的に測定することにより、水分子だけを計測できる。
+代表的な分圧真空計として、四極子形質量分析計がある。
+気体分子の重さ（より正確には、質量電荷比m/z）ごとに、気体分子を分離して測定する。
+水分子の分子量は18なので、分圧真空計の出力信号の中のm/z 18の信号だけを選択的に測定することにより、水分子だけを計測できる。
 真空中で行われる半導体や薄膜等の製造プロセスにおいて、残留ガスや漏れ（リーク）を測定するために用いられている。

圧力真空標準のバックアップ一覧
圧力真空標準のバックアップ差分(No. All)
- 1: 2016-03-06 (日) 15:28:23 cons
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