現: 2016-03-06 (日) 15:36:18 kondo[3] [4] | |||
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+ | *概要 [#lc7a72a8] | ||
+ | 真空中の気体種ごとの圧力(分圧)を測定するための真空計。 | ||
+ | 代表的な分圧真空計として、四極子形質量分析計がある。 | ||
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+ | 気体分子の重さ(より正確には、質量電荷比m/z)ごとに、気体分子を分離して測定する。 | ||
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+ | 水分子の分子量は18なので、分圧真空計の出力信号の中のm/z 18の信号だけを選択的に測定することにより、水分子だけを計測できる。真空中で行われる半導体や薄膜等の製造プロセスにおいて、残留ガスや漏れ(リーク)を測定するために用いられている。 |
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