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三元同時反応性スパッタリング法
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:三元同時反応性スパッタリング法 をテンプレートにして作成
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*概要
スパッタリング法とはチャンバー中に設置した基板とターゲッ...
このスパッタリング法によって、三つの物質を同時にはじき飛...
終了行:
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スパッタリング法とはチャンバー中に設置した基板とターゲッ...
このスパッタリング法によって、三つの物質を同時にはじき飛...
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