標準コンダクタンスエレメントステンレス　概要 [コンダクタンスエレメント]

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標準コンダクタンスエレメントステンレス　概要 ^[1]

製多孔質焼結体からなる定量ガス導入素子。

焼結体の孔径を1 µm以下とすることで、104 Pa（絶対圧力）という比較的高い圧力で、分子流と言う特性の良く分かった流れを発生することができる。

標準コンダクタンスエレメントを介して気体を導入することで、水蒸気を含む様々なガスを使って、真空容器内に気体を定量導入できる。

Last-modified: 2016-03-06 (日) 15:31:45 (JST) (2976d) by kondo

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