ガスを透過しない、又は、透過しにくいフィルム。ポリエチレンテレフタレート(PET)やポリエチレンナフタレート(PEN)などのプラスチックフィルムにガスバリア層をコーティングして作製することが多い。
水蒸気透過度[2]が10-3~10-4 g m-2 day-1以下のバリアフィルムを、特にハイバリアフィルムと呼ぶことがあり、有機EL等の劣化を防ぐための保護フィルムとして利用されることが期待されている。
ガスバリア性評価装置[4]を校正する際に基準として用いる、ガス透過度が予め評価されたガスバリアフィルム。
市販されている標準ガスバリアフィルムで水蒸気透過度[2]が最も小さいものは、米国国立標準技術研究所(NIST)にトレーサブルな標準ガスバリアフィルム(水蒸気透過度[2]は3.2×10-2 g m-2 day-1)である。そのほか、米国モコン社が開発した標準ガスバリアフィルム(水蒸気透過度[2]は8×10-3 g m-2 day-1)がある
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