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現: 2016-03-06 (日) 15:31:45 kondo[3]  [4] |
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| + | *標準コンダクタンスエレメントステンレス 概要 [#eb042642] | ||
| + | 製多孔質焼結体からなる定量ガス導入素子。 | ||
| + | 焼結体の孔径を1 µm以下とすることで、104 Pa（絶対圧力）という比較的高い圧力で、分子流と言う特性の良く分かった流れを発生することができる。 | ||
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| + | 標準コンダクタンスエレメントを介して気体を導入することで、水蒸気を含む様々なガスを使って、真空容器内に気体を定量導入できる。 | ||
- コンダクタンスエレメント のバックアップ差分(No. All)
- 現: 2016-03-06 (日) 15:31:45 kondo[3]
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